魂遷光刻，夢繞芯片，中芯國際終獲ASML大型光刻機

  據羊城晚報報道，近日中芯國際從荷蘭進口的一臺大型光刻機，順利經過深圳出口加工區場站兩道閘口進入廠區，中芯國際發表公告稱該光刻機並不是此前盛傳的EUV光刻機，主要用於企業復工復產後的生產線擴容。electron     咱們知道EUV主要用於7nm及如下製程的芯片製造，光刻機做爲集成電路製造中最關鍵的設備，對芯片製做工藝有着決定性的影響，被譽爲「超精密製造技術皇冠上的明珠」，根據以前中芯國際的公

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