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ose pse
時間 2021-01-21
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如圖中所示,Gate A與GateB 周圍POLY環境的不同便會導致PSE,65nm以下工藝,A和B參數差別會很大,加C作爲DUMMY之後,B 和A周圍POLY環境基本一致,參數也會較爲接近。OSE原理也相近。 其實可以理解爲擴散、注入等過程中,邊緣濃度與中間會有很大的差別,所以需要周圍加足夠多的dummy,加的越多,中間器件的差別自然越小。
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