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叉指換能器—此博文包含圖片—聲表面波的激勵結構
時間 2020-12-24
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叉指換能器(IDT)是在壓電基片上澱積一層金屬薄膜,在用光刻法得到一列交叉的電極製成。當交變的電場加載一列交叉的電極上,通過逆壓電效應,在壓電基片上產生聲表面波。 圖1 叉指換能器示意圖 IDT有製作簡單、聲電轉換效率高、工作效率高、能消除寄生模式、性能優越等特點。 IDT的結構參數有:指條對數N、孔徑W和週期節長L。均勻的IDT結構如下圖2所示: 圖2 均勻IDT結
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