使用鋁、金、銅做電極的CCD攝像機

   使用鋁、金、銅做電極的CCD攝像機 下面介紹一種使用氧化鋁和金元素做CCD攝像頭的照相機。這個照相機的CCD感光芯片是這樣製作的。首先用感光膠塗抹多晶硅表面,再用棋盤狀條帶覆蓋多晶硅,棋盤狀條帶可以是微縮相機的製作的小型棋盤狀底片。掩膜板由一層1mm後的透光石英和1層棋盤狀鉻,硅,氧化鉻構成。鉻,硅,氧化鉻的質量比是1:0.5:10。製作掩膜板時,首先在石英片表面覆蓋一層四氯化硅粉末,鉻粉末
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