SECS協議基礎知識

OK在被老師甩了三個壓縮包的資料之後，終於明白了SECS是什麼 然而Linux開發似乎遙遙無期… 先整理一下看的資料～衝就完事！ 協議框架 SECS（SEMI Equipment Communication standard）是由SEMI開發的半導體設備通訊標準 它分爲物理部分和邏輯部分 物理部分：SECS-I（用於RS232接口）、HSMS（TCP/IP接口） 邏輯部分：SECS-II、GEM

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