CMOS Sensor內部結構及工作原理

 

1、Cmos sensor stack (以手機相機爲例)

2、sensor floorplan (平面構造圖)

3、光子(Photon)與量子效率(quantum efficiency)

4、與量子效率QE有關的幾個重要概念

5、感光過程

6、讀取過程

7、Sensor動態範圍

8、Sensor 時序

9、Noise in Sensor

10、Crosstalk 對 noise的影響


 

 

1、Cmos sensor stack (以手機相機爲例)

  
        如上的構造和堆棧類似,光線進入物鏡、通過IR cut(過濾掉紅外光)、進入Micolens (sensor 每個像素上都有一個微鏡頭,更利於聚光)、
        ColorFilter(用來過濾出光線中的R\G\B顏色分量的濾光板)、透射到Sensor Array(像素陣列,是bayer格式)、最後是PCB電路板;
 
 
 

2、sensor floorplan (平面構造圖)

        
  • Optical Black:光遮斷黑電平,用金屬遮蓋住這一部分的光線,讓其完全不感光,體現出的顏色就是Optical black;
  • Dummy border: 不用的一部分像素;
  • Power management:電源管理模塊 ;
  • Control/processing/memory:有OTP、....
  • READOUT:輸出電路,把感光元器件的感光值變爲數字值,給讀出來;
    每個有效像素都是下圖中的結構(反向偏置的感光二極管+MOS電容),當在二極管上施加反向偏置電壓時,他就變成了一個電容,加反向電壓就是給電容充電,在二極管裏面形成電荷,對於這種光電二極管來說,當反向充電充滿後,由於光子的攝入,會導致內部激發出新的電子和供缺對,與原來充電形成的電子和供缺對進行配對放電,形成電流(l_ph),由於光子的激發產生的光電流,光電流經過右邊的電容器累計電荷進行充電的動作,把電流變成電壓輸出出去,這就是一個基本的感光元件的基本結構,不止camear sensor,其他光譜產品也是用的類似結構;
   
 
 

3、光子(Photon)與量子效率(quantum efficiency)

         由於光線的波長及頻率不同,則每種色光的光子所載有的能量是不同的,如下藍色光光子是4.41E^-19焦耳;
          
         光子能量:E=h(普朗克宏量)* c(光速)/ λ(光的波長)
         總能量:Total_Power=sum_of (all photons) 所有光子能量的和 ;
         量子效率:QE=1/3 in this case (如上圖,3個光子形成1個電荷);
 
 
 

4、與量子效率QE有關的幾個重要概念

  • QE:是衡量某個顏色通道某個頻率/波長的光子轉換成電子的效率;
  • IR cuter:cut near IR (用於去掉camrea近紅外不可見光) ;
  • Crosstalk:用於衡量整個成像模組的性能指標(包括lens、color filter、IR、Sensor),理想情況下經過Color filter每個RGB pixel都只感受其對應顏色的光,如圖2所示,但現實是因爲不同的模組,工藝,使得每個顏色通道的感光都是交疊的,如圖1.所示,pixel不能完全被一個顏色通道的光所激發的情況叫Crosstalk,Crosstalk越小越好,所以ISP會有一個ccm的模塊用來矯正這個問題(相當於我要算b通道的顏色分量時,要把g,r通道的響應要減去);
  • Sensitivity = QE * Pixel_Size (Sensitivity也就是像素對光的敏感程度,即同樣的光子我能激發多少的電荷);
       
                                             圖1.                                                                                                                圖2.    
 
            
                                                                                                                                            
 
      
 
 

5、感光過程

      
 
  1. 充電:先對光電二極管進行充電,N是電子,P是空穴(模擬電路中的兩種載流子,帶有負電荷和正電荷),當對二極管施加反向電壓時,就相當於對二極管的容性進行充電,在二極管上就形成了如圖,上面4個電子,下面4個空穴;
  2. 感光:當有光子進來時,光電二極管進行光電效應,就會激發一個電子和空穴的配對,就會與原來存在的電子和空穴進行融合(正負融合)就形成了光電流,光電流在mos電容上面形成充電效應,就會產生一個電壓的變化,如果原來是0,現在增加的就是△V;
  3. 放電:從二極管的角度來看,電荷數也就是電子數和空穴數變少了(光子激發了電子和空穴的配對),△Q(電荷變化) =Ne (光子數) * e (單個電荷的能量) * QE (光電轉換效率);Q (電容)= V * C(電容的大小),△V =△Q/C  (電容處輸出的電壓,對應上了電荷的變化,也就是把光電效應和輸出電壓聯繫起來了,實現了光子到電壓的轉換,後面會再有進一步的電路再去處理電壓值);
 
 
 
 

6、讀取過程

    如下,經過感光過程得到從e到v的變化,實現了感光程度可以量化的一個數值,接着信號經過模擬放大器放大,接着通過AD轉換器,變爲數字信號;
    
 
 
    從時間軸上來看,Reset (充電過程),把所有光電二極管充滿電,讓其變爲Full Well,接着等待一段時間進行感光(也就是曝光時間),最後讀取電路,總共對Sensor操作的時間爲:
    Total_time =reset_teme + exposure_time +readout_time(reset_time比較小,有時計算不精確時,可以忽略掉);
    
 
 
 
 
 

7、Sensor動態範圍

   
       如上圖,中間部分爲器件感光部分(用來存儲光生電荷的電場,叫勢阱),勢阱越大。能容納的電子越多,Sensor的動態範圍則越大,這涉及到如下幾個概念:
        1、Full well Capacity:電荷累積到一定程度,勢阱滿了,電荷就會溢出,所以電荷累計到什麼程度勢阱會滿的程度就叫Full well;
        2、Dark Current:  勢阱底部始終存在不感光的電荷,他是與物理器件、半導體的工藝缺陷,是無法避免的,也是造成black level的原因;
        3、Fill Factor:是中間感光部分的阱的面積除以整個PCB的面積;
 
        Dynamic Range = Saturation/black level  (Saturation由Full well決定,black level由Dark Current決定,對WDR的sensor來說是一個非常重要的指標);
 
 
 
 
 
 

8、Sensor 時序

   
        每次曝光結束時,就會有相應的讀出電路,把信號讀出來,就可以得到當前光電二級管的電壓值,這就是sensor操作的一個時序;
 
 
 
 
 

9、Noise in Sensor

  • 時域噪聲--- KTC Nosie(readout)、PhotonShoNoise、DarkCurrentNoise、PowerNoise
  • 空域噪聲--- DefectPixel、ROW/ColumnNoise、PRNU、DSNU
 
 
 

10、Crosstalk 對 noise的影響