DMD數字微鏡

Digital Micromirror Devicehtml DMD技術於1987年被髮明,到1996年春走向市場。DMD是一個真正的微光機電系統(MOEMS),該器件是利用CMOS工藝和微機械加工(MEMS)的方式製造出來的,有數以百萬計的微小微鏡陣列單元組成,一個微鏡就是一個像素。CMOS工藝用來肯定每個微鏡的單元地址,並有控制電極經過施加電壓控制微鏡偏轉。git Reference http
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