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中南大學汪煉成教授課題組:三維金屬-半導體-金屬AlN深紫外探測器
時間 2021-01-11
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汪煉成,物理電子學博士,中南大學特聘教授,博士生導師,微電子科學與工程系副主任,高性能複雜製造國家重點實驗室研究員。博士畢業於中科院半導體研究所, 先後在新加坡南洋理工大學,新加坡科技大學和英國謝菲爾德大學從事博士後研究工作,科研方向爲第三代半導體電子/光電子器件和系統集成。 近日,中南大學汪煉成教授(通訊作者)課題組採用MOCVD 在藍寶石(002)上外延生長了1.5 μm厚的AlN材料,AlN
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